考虑MicroSense Mini精密位置传感器的六个原因

的本小来自KLA-Tencor的ADE部门，是一种精密线性位置传感器，可在测量范围内提供纳米级分辨率，最高可达毫米。该传感器适用于短行程，精密定位应用，可在压电驱动定位平台，微执行器和扫描探针显微镜平台等机构中提供位置反馈。

使用这些小型传感器有很多好处，包括:

• 紧凑的尺寸。由于体积小，MicroSense Mini传感器头很容易安装在空间受限的区域，并且比光学编码器或激光干涉仪需要更少的安装空间。
• 直接测量。MicroSense Mini使用任何接地的导电表面作为目标，提供对运动目标的直接测量。不需要线性比例或镜像。
• 高分辨率。非接触式位置传感器的分辨率达到亚纳米级。
• 准确度高，反应速度快。对于MicroSense Mini, 0.02%的全尺寸线性是典型的，没有周期性误差或迟滞。
• 对任何导电目标都有效。材料或表面处理对精度没有影响。
• 安装方便。传感器头安装在一个简单的精密孔。

MicroSense Mini由一个紧凑的电子模块组成，带有电源连接、模拟输出和串口。探测目标的传感器头通过一根1.5米长的电缆连接到电子模块。

MicroSense Mini有多种尺寸可供选择。总部位于美国达勒姆仪器公司。凭借在仪器仪表领域超过50年的经验，公司为任何测量问题提供专业的解决方案。联系达勒姆仪器欲了解更多有关此或任何其他产品的信息。

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